氦質(zhì)譜檢漏儀是如何工作的? 氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、、真空系統(tǒng)、電子線路及其他電氣部分組成。為了方便解釋氦質(zhì)譜檢漏儀是如何工作的, 我們以磁偏轉(zhuǎn)型的氦質(zhì)譜檢漏儀為例進(jìn)行說明。 在質(zhì)譜室的離子源N內(nèi)，氣體被電離成離子。在電場作用下離子聚焦成東，并以-定的速度經(jīng)由縫隙S1進(jìn)入磁分析器，在均勻磁場的作用下，具有-定速度的離子束，將按圓形軌跡運(yùn)動。調(diào)節(jié)加速電壓U使氦離子束M z恰能通過縫隙S2到達(dá)收集極K而形成離子流。利用弱電流量測設(shè)備，使之在輸出儀表與音響裝置上反映出來。而其他不同于M2的離子束則以不同的偏轉(zhuǎn)半徑而被分開。
航天技術(shù)的不斷發(fā)展， 泄漏問題已經(jīng)成為航天產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造中必須考慮的關(guān)鍵因素，越來越多的收到各方關(guān)注，相關(guān)電子元器件漏率檢測已經(jīng)引起科研人員的高度重視，目前應(yīng)用檢漏技術(shù)的主要是為密封繼電器、集成電路 外殼。.利用氫質(zhì)譜檢漏儀可以方便地對密封繼電器作漏率測定。針對不同的產(chǎn)品，采用合適的檢漏方法。目前密封繼電器的漏率檢測主要是GJB360A-96的112實(shí)驗(yàn)程序。
檢漏時噴在漏孔處停留的時間應(yīng)為儀器響應(yīng)時間的3倍，該時間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時間，即為兩次噴氦的較小間隔時間，當(dāng)然真空系統(tǒng)越龐大，該間隔時間也越長。氦質(zhì)譜檢漏儀不會受到主觀因素判斷的影響；檢測的數(shù)據(jù)；自動生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用制冷行業(yè)：冰箱、空調(diào)、汽車用空調(diào)、蒸發(fā)器、冷凝器、奪縮機(jī)、低溫儲槽。
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